深圳市心怡創(chuàng)科技有限公司銷售電話:
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一、核心定位與優(yōu)勢(shì)
緊湊型全集成:無需額外機(jī)柜,整機(jī)一體化,占地小、部署快。
操作極簡:一鍵式工作流,新手也能快速上手,適合多用戶平臺(tái)。
高性能 XPS:兼顧高分辨化學(xué)態(tài)分析、絕緣樣品測(cè)試、快速成像與深度剖析賽默飛世爾科技中國。
低擁有成本:維護(hù)簡單、樣品通量高、運(yùn)行穩(wěn)定。
二、關(guān)鍵硬件與技術(shù)
X 射線源
單色化 Al Kα(1486.6 eV),微聚焦探針,分析區(qū)域30–400 μm(步長 5 μm)賽默飛世爾科技中國。
低功率高亮度設(shè)計(jì),兼顧靈敏度與穩(wěn)定性。
荷電補(bǔ)償(絕緣樣品)
雙束中和源(電子 + 離子),一鍵啟動(dòng),無需手動(dòng)校準(zhǔn),導(dǎo)電 / 絕緣樣品均適配賽默飛世爾科技中國。
能譜分析與探測(cè)
半球形能量分析器 +128 通道探測(cè)器,快照式快速采集,效率提升數(shù)倍賽默飛世爾科技中國。
能量分辨率:≤0.5 eV(Ag 3d5/2),滿足化學(xué)態(tài)精細(xì)分辨。
樣品觀察與定位
三攝像頭光學(xué)系統(tǒng):樣品臺(tái)全景、實(shí)時(shí)反射觀察、高度對(duì)焦,精準(zhǔn)定位微區(qū)。
支持XPS 圖像與光學(xué)圖像疊加,直觀關(guān)聯(lián)成分與形貌。
深度剖析(選件)
MAGCIS 離子源:單原子(Ar?)與氣體團(tuán)簇(Ar??)雙模式,適配無機(jī) / 有機(jī)多層膜逐層成分分析。
高級(jí)選件
UPS(紫外光電子能譜):測(cè)功函數(shù)、價(jià)帶結(jié)構(gòu)。
真空傳送模塊:保護(hù)敏感樣品(如鋰電極、易氧化材料)不暴露大氣。

三、核心功能
全譜掃描:快速定性表面元素組成(Li–U)。
高分辨窄譜:解析化學(xué)態(tài)(如氧化態(tài)、官能團(tuán))。
化學(xué)成像(SnapMap):二維元素 / 化學(xué)態(tài)分布,空間分辨率可達(dá) 10 μm。
深度剖析:獲取成分隨深度的分布(單層至微米級(jí))賽默飛世爾科技中國。
半定量分析:元素相對(duì)含量(精度約 10%)。
四、典型應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體 / 微電子:晶圓表面污染、光刻膠殘留、薄膜組分、界面分析T。
能源材料:鋰電池電極 / SEI 膜、光伏材料(如 CIGS)、催化劑表面價(jià)態(tài)。
高分子 / 涂層:聚合物表面官能團(tuán)、涂層附著力失效、老化機(jī)理。
金屬 / 腐蝕:鈍化膜、腐蝕產(chǎn)物、鍍層界面。
玻璃 / 陶瓷:表面改性、摻雜分布、缺陷分析。
生物 / 醫(yī)用材料:植入體表面改性、蛋白吸附、無菌驗(yàn)證。
五、技術(shù)參數(shù)(精簡)
分析區(qū)域:30–400 μm(可調(diào))賽默飛世爾科技中國。
能量分辨率:≤0.5 eV(Ag 3d5/2)。
成像分辨率:≤10 μm(SnapMap)。
樣品尺寸:最大 150 mm(直徑),厚度≤20 。
真空系統(tǒng):超高真空(UHV),1×10?? mbar級(jí)別。
控制軟件:Avantage,自動(dòng)化程度高,支持智能峰擬合、自動(dòng)元素識(shí)別。
六、K?Alpha+ 升級(jí)要點(diǎn)(2025+)
更快采集速度、更高靈敏度、更優(yōu)化學(xué)態(tài)分辨。
新增eSP 智能峰識(shí)別、KnowledgeView 數(shù)據(jù)庫匹配,降低分析門檻。
七、總結(jié)



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